金屬硅粉的制備方法比較簡(jiǎn)單易行,制備原理也很簡(jiǎn)單易懂,就是將一定的粗硅粉經(jīng)過(guò)分散后,用惰性氣體送入等離子體弧中,瞬間加熱,使粗的硅粉在比較高溫度下瞬間蒸發(fā)成為硅蒸汽,硅蒸汽接著進(jìn)入冷卻區(qū),被冷凝下來(lái),成為納米級(jí)別的金屬硅粉。
化學(xué)氣相沉積法:硅烷在熱,微波,激光,等離子體等外界能量的作用下,在高氫稀釋的條件下分解為硅和氫,在氣相環(huán)境下快速冷凝,從而制備出納米硅粉。
球磨法:利用機(jī)械旋轉(zhuǎn)及粒子之間的相互作用產(chǎn)生的巨大摩擦力將尺寸較大的硅材料研磨成納米尺寸的粉末。利用球磨法生產(chǎn)的金屬硅粉雜質(zhì)含量高,粒徑分布不能得到很好控制,后處理比較繁瑣。